考慮溫度影響的砷化鎵光子晶體壓力傳感器的設(shè)計(jì)與研究
關(guān)鍵詞：光子晶體 溫度干擾 雙通道濾波器 壓力探測(cè) 溫度探測(cè)
摘要：提出了一種由雙通道濾波器構(gòu)成的砷化鎵光子晶體壓力傳感器,利用波導(dǎo)與腔耦合實(shí)現(xiàn)窄帶濾波,雙通道分別實(shí)現(xiàn)壓力探測(cè)和溫度探測(cè)的功能。以室溫25℃、0壓力的情況作為參考,在溫度為-25~45℃、壓力為0~2GPa的范圍內(nèi),根據(jù)濾波器的濾波波長分別與溫度和壓力之間的線性變化關(guān)系,探測(cè)溫度和壓力。同時(shí)還分析并比較了極端溫度情況下濾波波長的變化,確定溫度變化對(duì)壓力測(cè)量造成的影響,在較惡劣的情況下溫度變化不可忽略。分析得出未考慮溫度響應(yīng)的壓力靈敏度約為16.6nm/GPa,消除溫度響應(yīng)后壓力靈敏度約為15.9nm/GPa,品質(zhì)因子高達(dá)5696。
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