基于質量剛度解耦的三波腹嵌套環(huán)MEMS陀螺結構優(yōu)化設計
高凱; 李青松; 張勇猛; 路闊; 王鵬; 許一; 李斌; 肖定邦 國防科技大學智能科學學院; 長沙410073
關鍵詞：嵌套環(huán)陀螺 性能優(yōu)化 質量剛度解耦 靈敏度 熱噪聲
摘要：
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