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關鍵詞：鋁箔 微細加工 電解加工 微縫結構 

摘要：鋁由于其低密度和良好的導電導熱性而被廣泛應用于各個領域,其中具有群縫結構的鋁微器件在微機電領域有著重要的應用前景,但鋁箔的微細加工較困難。針對鋁微縫結構的加工,提出一種基于硝酸鈉乙二醇溶液的電解切割方法,分析了鋁在不同溶劑的硝酸鈉溶液中極化曲線的基礎上,對電壓、頻率、占空比三個參數進行了試驗研究,最終在鋁箔表面加工出了總長2 mm、平均縫寬275.25μm、縫寬標準差6.53μm的"L"形微縫結構,微縫形貌良好且表面無雜散腐蝕。

電加工與模具雜志要求:

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