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我國(guó)MEMS傳感器技術(shù)產(chǎn)業(yè)升級(jí)策略研究
碩天鸞; 黃偉 中國(guó)信息通信研究院信息化與工業(yè)化融合研究所
關(guān)鍵詞：傳感器 mems 半導(dǎo)體 升級(jí)策略
摘要：通過總結(jié)MEMS傳感器整體發(fā)展趨勢(shì)，跟進(jìn)技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展動(dòng)態(tài)，分析重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域與技術(shù)環(huán)節(jié)，梳理總結(jié)我國(guó)面臨的挑戰(zhàn)和問題，提出關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)、產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用推廣、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同等技術(shù)產(chǎn)業(yè)升級(jí)策略。
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