提升銅微電鑄均勻性的方法研究
關(guān)鍵詞：微電鑄 均勻性 有限元分析
摘要：微電鑄技術(shù)是一種金屬微結(jié)構(gòu)制備技術(shù)。與普通的機(jī)械加工相比,微電鑄的加工精度更高,能夠制備μm級精細(xì)結(jié)構(gòu)。然而,在進(jìn)行大面積銅電鑄時(shí),陰極區(qū)域不同位置電流密度分布不均勻,會產(chǎn)生明顯的電鑄厚度差異。借助有限元分析技術(shù),提出一種提升金屬銅微電鑄均勻性的方法,通過在目標(biāo)圖形外圍添加電流收集環(huán)來改變陰極電流分配密度,從而提升電鑄均勻性。
電子工藝技術(shù)雜志要求:
{1}摘要及關(guān)鍵詞：文中必須附中文摘要，內(nèi)容包括目的、方法、結(jié)果(應(yīng)給出主要數(shù)據(jù))及結(jié)論4個(gè)部分內(nèi)容，要求以第3人稱撰寫200-300字為宜，并附3-8個(gè)關(guān)鍵詞。有條件者，可將文題、作者、單位、摘要及關(guān)鍵詞譯成英文。
{2}來稿力求做到富有思想性，觀點(diǎn)新穎、概念準(zhǔn)確、論證嚴(yán)謹(jǐn)、邏輯清晰、資料翔實(shí)、格式規(guī)范、文字精煉。
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