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提升銅微電鑄均勻性的方法研究
張劍; 盧茜; 束平; 呂英飛 中國電子科技集團公司第二十九研究所; 四川成都610036
關鍵詞：微電鑄 均勻性 有限元分析
摘要：微電鑄技術是一種金屬微結構制備技術。與普通的機械加工相比,微電鑄的加工精度更高,能夠制備μm級精細結構。然而,在進行大面積銅電鑄時,陰極區(qū)域不同位置電流密度分布不均勻,會產(chǎn)生明顯的電鑄厚度差異。借助有限元分析技術,提出一種提升金屬銅微電鑄均勻性的方法,通過在目標圖形外圍添加電流收集環(huán)來改變陰極電流分配密度,從而提升電鑄均勻性。
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