關(guān)鍵詞:化學氣相滲透 bn界面層 復合界面層
摘要:SiC_f/SiC復合材料由SiC纖維、SiC基體和界面層組成。界面層可以傳遞載荷和偏轉(zhuǎn)裂紋,同時防止SiC纖維受到材料制備和使用過程中的化學侵蝕,對于調(diào)節(jié)SiC_f/SiC復合材料的性能具有非常重要的作用。本文綜述了氮化硼界面層的晶體結(jié)構(gòu)、復合界面層的種類,介紹了化學氣相滲透法制備氮化硼(boron nitride,BN)及其復合界面層的工藝條件,總結(jié)了先驅(qū)體氣體比例、載氣、沉積壓力及溫度等工藝條件對界面層沉積速率、微觀形貌結(jié)構(gòu)的影響。選擇合適的工藝條件,制備理想結(jié)構(gòu)的BN及其復合界面層,將是SiC_f/SiC復合材料界面層研究領(lǐng)域的重點和難點。
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