3.7~4.8μm中紅外帶通濾光膜研制
岳威; 梁靈芬; 王嘉欣; 張闊; 劉連澤 華北光電技術研究所; 北京100015
關鍵詞：帶通濾光膜 中紅外 膜系設計 工藝參數(shù)
摘要：以光學薄膜理論為出發(fā)點,系統(tǒng)介紹了3.7~4.8μm帶通濾光膜的理論設計與優(yōu)化、實際生產(chǎn)制備以及成品測試方法。考慮到膜料性能及膜層匹配等問題,分別選用鍺和一氧化硅作為高低折射率材料,并以氧化鋁作為薄膜基底。確定了濾光膜的基礎膜系,并使用Filmaster軟件對膜系進行了設計和優(yōu)化計算。在薄膜蒸鍍過程中,根據(jù)材料選取合適的鍍制工藝。通過溫度控制、離子輔助等方法研制出了可靠性與光譜特性皆優(yōu)的帶通濾光膜,并對其光譜特性及膜層質量等進行了測試。根據(jù)設計目標修改工藝參數(shù),最終確定可行的工藝流程,從而研制出了符合光學性能設計指標的3.7~4.8μm帶通濾光膜。
紅外雜志要求:
{1}摘要內容應包括研究工作目的、方法、結果和結論。摘要應具有獨立性和自含性，即不閱讀全文，就能獲得必要的信息。
{2}作者對來稿的真實性及科學性負責。依照《中華人民共和國著作權法》的有關規(guī)定，本刊可對來稿做文字修改、刪節(jié)。凡有涉及原意的修改，則提請作者考慮。修改稿逾期3個月不寄回者，視作自動撤稿。
{3}特別歡迎隨稿提供較高質量的彩色與黑白攝影圖片電子版，以便本刊封內彩頁選用。
{4}要有300字以內的中文摘要和3至5個關鍵詞。
{5}作者如對文章題名、責任者、基金項目（名稱和編號）需做必要的解釋或說明，請在當頁用腳注表示;對于文章特定內容的解釋說明,請用“注釋”方式置于文后，序號用帶“[]”的阿拉伯數(shù)字表示，連續(xù)編號。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
