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關(guān)鍵詞：帶通濾光膜 中紅外 膜系設(shè)計(jì) 工藝參數(shù) 

摘要：以光學(xué)薄膜理論為出發(fā)點(diǎn),系統(tǒng)介紹了3.7~4.8μm帶通濾光膜的理論設(shè)計(jì)與優(yōu)化、實(shí)際生產(chǎn)制備以及成品測(cè)試方法?？紤]到膜料性能及膜層匹配等問(wèn)題,分別選用鍺和一氧化硅作為高低折射率材料,并以氧化鋁作為薄膜基底。確定了濾光膜的基礎(chǔ)膜系,并使用Filmaster軟件對(duì)膜系進(jìn)行了設(shè)計(jì)和優(yōu)化計(jì)算。在薄膜蒸鍍過(guò)程中,根據(jù)材料選取合適的鍍制工藝。通過(guò)溫度控制、離子輔助等方法研制出了可靠性與光譜特性皆優(yōu)的帶通濾光膜,并對(duì)其光譜特性及膜層質(zhì)量等進(jìn)行了測(cè)試。根據(jù)設(shè)計(jì)目標(biāo)修改工藝參數(shù),最終確定可行的工藝流程,從而研制出了符合光學(xué)性能設(shè)計(jì)指標(biāo)的3.7~4.8μm帶通濾光膜。

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