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      硼及其協(xié)同摻雜金剛石薄膜的研究

      王志偉; 鄒芹; 李艷國; 王明智 燕山大學(xué)機械工程學(xué)院; 河北秦皇島066004; 燕山大學(xué); 亞穩(wěn)材料制備技術(shù)與科學(xué)國家重點實驗室; 河北秦皇島066004

      關(guān)鍵詞:金剛石薄膜 硼及其協(xié)同摻雜 電學(xué)性能 改性方法 

      摘要:在金剛石中摻入雜質(zhì)元素會在保留其原有優(yōu)良性能的基礎(chǔ)上獲得其他性能,如摻入硼元素可以使金剛石成為P型半導(dǎo)體;協(xié)同摻雜其他元素可以改善金剛石的電學(xué)性能、催化活性等,甚至可以改變硼摻雜金剛石薄膜的導(dǎo)電機制.本文詳細(xì)介紹了硼及其協(xié)同摻雜金剛石薄膜的制備方法、結(jié)構(gòu)特點以及微觀形貌,綜述了影響其性能的因素及改性方法.

      金剛石與磨料磨具工程雜志要求:

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      金剛石與磨料磨具工程

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