InP基近紅外單光子雪崩光電探測器陣列
劉凱寶; 楊曉紅; 何婷婷; 王暉 中國科學院半導(dǎo)體研究所集成光電子學國家重點實驗室; 北京100086; 中國科學院大學材料科學與光電技術(shù)學院; 北京100049
關(guān)鍵詞：探測器 雪崩光電二極管 陣列 紅外波段 三維成像
摘要：單光子雪崩光電探測器(SPAD)具有雪崩增益大、響應(yīng)速度快、探測效率高、易于集成的特點。SPAD陣列器件可進行弱光三維成像,在生物化學、量子通信、激光雷達等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。因此開展SPAD器件及陣列探測技術(shù)的研究具有非常重要的意義。給出了近紅外InGaAs/InP SPAD單元工作原理和陣列結(jié)構(gòu)性能,對暗計數(shù)率、探測效率、后脈沖等主要影響因素和器件優(yōu)化方向進行總結(jié),概述了近年來SPAD陣列器件的主要技術(shù)方案,給出了串擾來源和消除方法,并對相關(guān)研究單位的技術(shù)與結(jié)果進行對比。
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