超短激光制備單晶硅光柵結構的熱積累效應和實驗研究
關鍵詞：超短激光 熱積累效應 雙溫方程 單晶硅燒蝕 光柵結構
摘要：針對超短激光輻照單晶硅材料制備光柵結構存在表面裂紋的缺陷,采用雙溫模型數(shù)值模擬出熱積累效應,并且實驗驗證不同加工參數(shù)下制備的單晶硅表面光柵結構的表面質(zhì)量。數(shù)值模擬出不同超短激光功率下電子溫度和晶格溫度的變化規(guī)律,通過調(diào)節(jié)不同的加工參數(shù)制備出單晶硅表面光柵結構溝槽,采用超景深三維顯微鏡對其表面形貌分析。結果表明:當超短激光的輸出功率增大時,激光熱馳豫時間變大,增大了非平衡狀態(tài)下激光的燒蝕強度。單晶硅表面的不平整凹坑造成超短激光的反射和散射,從而使得燒蝕后存在凹坑,造成單晶硅表面的損傷溶蝕。當加工速度和加工次數(shù)一定時,增大激光的輸出功率可以提高超短激光制備光柵結構的加工效率,但過大的激光功率反而造成光柵結構溝槽兩側(cè)出現(xiàn)溶蝕凹坑。
激光與紅外雜志要求:
{1}翻譯作品應分別注明著者（及國籍）和譯者。
{2}作者在收到回執(zhí)滿3個月未接到稿件處理通知可自行處理，若欲投他刊，應先與本刊聯(lián)系。退修稿逾期不回按自動撤稿處理。
{3}需特別注意的是，給出概念詞后，再給出一些重要詞的流行同義術語，重要的縮略詞、算法名稱、核心技術、算法名稱、核心元件型號等，例如某文獻討論了電源設計，就應給出其核心部件型號作為關鍵詞。
{4}論文題目和各級標題應簡潔、準確，20個字以內(nèi)為宜；避免使用非公知、公用的縮略詞及代號；不用“試論”“淺談”等表謙詞語；論文英文題目須與中文題目含義一致。
{5}來稿內(nèi)容包括（按順序）：題目、作者姓名、工作單位、摘要、關鍵詞、正文、注釋、參考文獻、作者簡介；作者詳細通訊地址、郵編、聯(lián)系電話及電子郵件地址。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
