MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)
關(guān)鍵詞：mems 慣性 傳感器 現(xiàn)狀 趨勢(shì)
摘要：自上世紀(jì)90年代以來(lái),針對(duì)MEMS慣性器件的研究越來(lái)越多,MEMS慣性傳感器開(kāi)始得到廣泛的商業(yè)應(yīng)用。本文對(duì)部分MEMS慣性傳感器國(guó)內(nèi)外的新近研究成果進(jìn)行了分類與歸納,分別對(duì)MEMS加速度計(jì)、MEMS陀螺儀和微慣性測(cè)量組合以及慣性微系統(tǒng)進(jìn)行了研究與分析。對(duì)MEMS慣性傳感器發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了初步推斷,認(rèn)為未來(lái)MEMS慣性傳感器的發(fā)展主要有四個(gè)方向:高精度,以滿足日益精細(xì)化、智能化的應(yīng)用需求;微型化,以實(shí)現(xiàn)便攜、分布式應(yīng)用要求;高集成度,以完成多種功能高密度組合;適應(yīng)性強(qiáng),以適應(yīng)復(fù)雜應(yīng)用環(huán)境,拓寬應(yīng)用范圍。
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