購物車(0)
U型電熱微驅(qū)動器溫度分布方程模型
趙海龍; 王新杰 南京理工大學機械工程學院; 江蘇南京210094
關(guān)鍵詞：mems 微驅(qū)動器 u型梁 溫度分布方程
摘要：針對MEMS驅(qū)動器提出了一種基于焦耳熱效應的多晶硅材料電熱驅(qū)動方式。根據(jù)電熱微驅(qū)動器的結(jié)構(gòu)特性,建立了用于計算其溫度的簡化模型;利用傅里葉定律和能量守恒方程導出的導熱方程建立并求解得到熱臂、冷臂和柔性區(qū)上的溫度分布方程。最后用ANSYS Multiphysics軟件對驅(qū)動器進行熱-電場耦合分析,結(jié)果表明驅(qū)動器上溫度理論值與仿真結(jié)果保持一致,該溫度分布方程可用于優(yōu)化電熱微驅(qū)動器設計并計算其熱膨脹量、驅(qū)動位移及力矩。
機械與電子雜志要求:
1．《機械與電子》內(nèi)容正確，文字精煉，通俗易懂，一般以5000字左右為宜；
2．《機械與電子》一律使用稿紙書寫，或用計算機打印，一字一格（標點符號占一格），字體工整，切勿潦草，用國家正式頒布的簡化漢字，外文字母用印刷體，切勿使用復印件；
3．《機械與電子》文中插圖不宜過多，標出圖位及圖注；
4．《機械與電子》一律采用法定計算單位，注明符號的正斜體和大小寫，數(shù)字用阿拉伯數(shù)字；
5．文章必有中英文題名、中英文摘要、中英文關(guān)鍵詞、主要參考文獻和作者簡介；
6．介紹科研成果，如為××基金資助項目等，應加蓋有單位公章，并附上證明材料復印件。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
