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      1.3μm InAs/GaAs量子點側向耦合淺刻蝕分布反饋激光器

      李齊柱; 伏霞; 張子旸; 王旭; 陳紅梅; 侯春彩; 黃源清; 郭春揚; 閔嘉華 上海大學材料科學與工程學院; 上海200444; 國家知識產(chǎn)權局專利局專利審查協(xié)作江蘇中心; 江蘇蘇州215163; 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米器件與應用重點實驗室; 江蘇蘇州215123

      關鍵詞:分布反饋激光器 側向耦合 淺刻蝕光柵 邊模抑制比 

      摘要:為了簡化工藝流程和減輕制備難度,提出了1.3μm分布反饋(distributed feedback,DFB)激光器的新型制作方法.該方法采用純折射率側向耦合(laterally coupled,LC)結構,將一階光柵淺刻蝕在脊形波導兩側,避免了激光器材料的二次外延和光柵深刻蝕.采用非摻雜和p摻雜兩種InAs/GaAs量子點(quantum dot,QD)樣品來制備LC-DFB激光器.與采用傳統(tǒng)方法制備的DFB激光器相比,非摻雜量子點LC-DFB激光器表現(xiàn)出了低的閾值電流,其值為1.12mA/量子點層;p摻雜量子點LC-DFB激光器表現(xiàn)出了較大的特征溫度和斜率效率.在室溫下,這種淺刻蝕的LC-DFB激光器實現(xiàn)了單縱模連續(xù)輸出,邊模抑制比(side mode suppression ratio,SMSR)高達51dB.同時,在不同的測試溫度和注入電流下,這種激光器表現(xiàn)出了優(yōu)良的波長穩(wěn)定性.1.3μm淺刻蝕量子點LC-DFB激光器有望在遠距離光纖通信領域實現(xiàn)巨大應用價值.

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