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離軸大口徑全反射式平行光管裝調(diào)技術(shù)研究
關(guān)鍵詞：現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試
摘要：隨著空間光學(xué)系統(tǒng)的發(fā)展,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的精度要求也更高.介紹了一套口徑525 mm、大視場(chǎng)離軸平行光管光學(xué)系統(tǒng)的高精度計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)方法.該大型平行光管要求全視場(chǎng)波像差優(yōu)于1/20波長(zhǎng),給裝調(diào)策略帶來了挑戰(zhàn).該方法基于多視場(chǎng)點(diǎn)靈敏度矩陣模型,利用5個(gè)不同視場(chǎng)點(diǎn)干涉測(cè)得的像差數(shù)據(jù),采用阻尼最小二乘法求解系統(tǒng)失調(diào)量.通過多次迭代裝調(diào),快速成功完成裝調(diào),在波長(zhǎng)λ=632.8 nm時(shí),該平行光管系統(tǒng)取得了中心視場(chǎng)點(diǎn)波像差均方根粗糙度(rms)值0.036λ、全像面波像差rms平均值0.045λ的裝調(diào)精度.
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