聚焦激光束在微納材料中的應(yīng)用
關(guān)鍵詞：聚焦激光束 微納材料 微納操控 微納加工 微納改性
摘要：低維微納材料因其特有的小尺寸效應(yīng)以及由此而來(lái)豐富的物理性質(zhì),預(yù)示著其在后摩爾時(shí)代的電子、光電器件中將發(fā)揮重要作用。由于微納材料的小尺寸特性,通過(guò)運(yùn)用傳統(tǒng)技術(shù),很難實(shí)現(xiàn)對(duì)微納材料的精準(zhǔn)操控,制約了微納材料在微型化、集成化、多元化器件中的應(yīng)用。文章回顧了聚集激光技術(shù)的發(fā)展歷程,重點(diǎn)介紹如何通過(guò)聚焦激光束實(shí)現(xiàn)對(duì)微納材料的精準(zhǔn)操控、加工與改性,并對(duì)聚焦激光技術(shù)的研究前景進(jìn)行展望。
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