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聚焦激光束在微納材料中的應(yīng)用
關(guān)鍵詞：聚焦激光束 微納材料 微納操控 微納加工 微納改性
摘要：低維微納材料因其特有的小尺寸效應(yīng)以及由此而來豐富的物理性質(zhì),預(yù)示著其在后摩爾時代的電子、光電器件中將發(fā)揮重要作用。由于微納材料的小尺寸特性,通過運用傳統(tǒng)技術(shù),很難實現(xiàn)對微納材料的精準(zhǔn)操控,制約了微納材料在微型化、集成化、多元化器件中的應(yīng)用。文章回顧了聚集激光技術(shù)的發(fā)展歷程,重點介紹如何通過聚焦激光束實現(xiàn)對微納材料的精準(zhǔn)操控、加工與改性,并對聚焦激光技術(shù)的研究前景進行展望。
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