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3D激光球桿儀伸縮導軌運動誤差調(diào)整與測量
關鍵詞：3d激光球桿儀 伸縮導軌 準直儀 測量 調(diào)整
摘要：伸縮裝置作為3D激光球桿儀的主要部件,其運動精度影響3D激光球桿儀俯仰角和偏擺角的測量值,為克服精密伸縮裝置加工困難且成本較高的缺點,獲得滿足3D激光球桿儀測量精度的伸縮裝置,提出以導軌為組件的伸縮導軌運動誤差的調(diào)整和測量方法。該方法以直線度誤差作為伸縮導軌運動精度的測量指標,采用自制準直儀進行伸縮導軌運動誤差測量與調(diào)整。首先,通過標定實驗和穩(wěn)定性實驗驗證準直儀的測量可靠性。然后,以準直儀為測量基準進行導軌直線度誤差測量,以導軌直線度調(diào)整方法為依據(jù)進行導軌直線度調(diào)整。最后,組裝伸縮導軌,逐一運動各層導軌完成伸縮導軌運動誤差測量;采用最小二乘法擬合得到上、下導軌與光軸在XR和YR平面的平行度誤差,并計算上導軌和下導軌在XR和YR平面的平行度誤差;調(diào)整上導軌角度,使上、下導軌平行,完成伸縮導軌運動誤差調(diào)整。實驗結果表明:上導軌X向和Y向直線度誤差分別由44μm和439μm降到20μm和14μm,下導軌X向和Y向直線度誤差分別由45μm和158μm降到25μm和37μm,伸縮導軌X向和Y向直線度誤差分別由105μm和281μm降到47μm和48μm,達到提高精度的目的。
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