3D激光球桿儀伸縮導(dǎo)軌運(yùn)動誤差調(diào)整與測量
關(guān)鍵詞：3d激光球桿儀 伸縮導(dǎo)軌 準(zhǔn)直儀 測量 調(diào)整
摘要：伸縮裝置作為3D激光球桿儀的主要部件,其運(yùn)動精度影響3D激光球桿儀俯仰角和偏擺角的測量值,為克服精密伸縮裝置加工困難且成本較高的缺點(diǎn),獲得滿足3D激光球桿儀測量精度的伸縮裝置,提出以導(dǎo)軌為組件的伸縮導(dǎo)軌運(yùn)動誤差的調(diào)整和測量方法。該方法以直線度誤差作為伸縮導(dǎo)軌運(yùn)動精度的測量指標(biāo),采用自制準(zhǔn)直儀進(jìn)行伸縮導(dǎo)軌運(yùn)動誤差測量與調(diào)整。首先,通過標(biāo)定實(shí)驗(yàn)和穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證準(zhǔn)直儀的測量可靠性。然后,以準(zhǔn)直儀為測量基準(zhǔn)進(jìn)行導(dǎo)軌直線度誤差測量,以導(dǎo)軌直線度調(diào)整方法為依據(jù)進(jìn)行導(dǎo)軌直線度調(diào)整。最后,組裝伸縮導(dǎo)軌,逐一運(yùn)動各層導(dǎo)軌完成伸縮導(dǎo)軌運(yùn)動誤差測量;采用最小二乘法擬合得到上、下導(dǎo)軌與光軸在XR和YR平面的平行度誤差,并計(jì)算上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌在XR和YR平面的平行度誤差;調(diào)整上導(dǎo)軌角度,使上、下導(dǎo)軌平行,完成伸縮導(dǎo)軌運(yùn)動誤差調(diào)整。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:上導(dǎo)軌X向和Y向直線度誤差分別由44μm和439μm降到20μm和14μm,下導(dǎo)軌X向和Y向直線度誤差分別由45μm和158μm降到25μm和37μm,伸縮導(dǎo)軌X向和Y向直線度誤差分別由105μm和281μm降到47μm和48μm,達(dá)到提高精度的目的。
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