不同激光損傷程度下K9玻璃形貌的Sinc函數(shù)表征
關(guān)鍵詞：激光損傷 k9光學(xué)元件 sinc函數(shù) 表面輪廓表征
摘要：為滿足對高能激光系統(tǒng)中損傷光學(xué)元件修復(fù)及對后端光學(xué)系統(tǒng)進行分析的應(yīng)用需求,針對高斯激光造成不同損傷程度的K9光學(xué)元件建立了損傷表面輪廓的數(shù)學(xué)表征方法。首先,開展了激光輻照效應(yīng)實驗,獲取了不同損傷程度的K9光學(xué)元件樣品,并通過Zygo白光干涉儀獲取樣品表面3維形貌原始數(shù)據(jù);其次,利用高斯濾波算法對表面輪廓進行提取,并構(gòu)建合適的坐標系;最后,利用Sinc函數(shù)構(gòu)建了一組正交輪廓曲線。結(jié)果表明,3種不同損傷程度K9玻璃的1維輪廓均可用類Sinc函數(shù)描述,表征結(jié)果與實際濾波后輪廓曲線之間的擬合偏差為0.5~7μm。
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