硅微諧振式壓力傳感器閉環(huán)頻率跟蹤電路
許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院; 安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心; 安徽合肥230009
關(guān)鍵詞：諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環(huán) 無相差
摘要：
儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:
{1}多位作者的署名之間用逗號隔開；不同單位的作者，應(yīng)在姓名右上角加注不同的阿拉伯?dāng)?shù)字序號，并在其單位名之前加注相應(yīng)的數(shù)字；作者單位之間連排時以分號隔開。
{2}對所投稿件，本刊有權(quán)根據(jù)本刊辦刊要求對其進行適當(dāng)刪改或調(diào)整，作者如不愿被改動，來稿時請注明。
{3}文中標題層次用阿拉伯?dāng)?shù)字連續(xù)編號，例如：1…，2…，2.1…，2.1.1…，一律左頂格。一、二級標題后的正文另起，縮進2字。三級標題后空1字接正文。
{4}參考文獻：按照中文參考文獻在前，日文參考文獻次之，西文參考文獻居后的順序排列。各語種參考文獻以作者姓名讀音為序。
{5}摘要中如采用非標準的術(shù)語、縮寫詞和符號等，均應(yīng)在首次出現(xiàn)時予以說明。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
