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硅微諧振式壓力傳感器閉環(huán)頻率跟蹤電路
許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院; 安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心; 安徽合肥230009
關(guān)鍵詞：諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環(huán) 無相差
摘要：
儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:
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{3}文中標(biāo)題層次用阿拉伯?dāng)?shù)字連續(xù)編號，例如：1…，2…，2.1…，2.1.1…，一律左頂格。一、二級標(biāo)題后的正文另起，縮進(jìn)2字。三級標(biāo)題后空1字接正文。
{4}參考文獻(xiàn)：按照中文參考文獻(xiàn)在前，日文參考文獻(xiàn)次之，西文參考文獻(xiàn)居后的順序排列。各語種參考文獻(xiàn)以作者姓名讀音為序。
{5}摘要中如采用非標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語、縮寫詞和符號等，均應(yīng)在首次出現(xiàn)時予以說明。
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