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關(guān)鍵詞：四氟化硅 制備 純化 電子氣體 

摘要：四氟化硅是一種有機(jī)硅化合物合成材料,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),其需求量日益擴(kuò)大,對(duì)其純度要求也越來(lái)越苛刻。本文介紹了四氟化硅常用制備方法及其優(yōu)缺點(diǎn),列舉了四氟化硅的純化方法。在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中,企業(yè)需根據(jù)自身實(shí)際生產(chǎn)情況選擇合理的生產(chǎn)路線,結(jié)合制備工藝中雜質(zhì)種類,選擇合適純化方法,獲得高純四氟化硅產(chǎn)品。

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