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分壓力質譜計校準技術研究進展
吳成耀; 成永軍; 孫雯君; 董猛; 馮天佑; 李海濤 蘭州空間技術物理研究所真空技術與物理重點實驗室; 蘭州730000; 東北大學機械工程與自動化學院; 沈陽110819
關鍵詞：分壓力 校準 質譜計
摘要：在含有混合氣體的高真空環(huán)境中,全壓力真空規(guī)的計量結果通常會隨著被測氣體成分的改變而產生較大的差異,因此,需要進行氣體成分的檢測及分壓力的計量。質譜計作為氣體成分檢測及分壓力計量的主要工具,為保證其定量檢測的準確性,必須進行校準。從原理上對質譜計校準方法進行了總結,介紹了當前國內外計量機構使用的部分校準裝置以及當前分壓力計量的光學及量子相關方法的發(fā)展現(xiàn)狀,提出了質譜計校準存在的問題和未來的發(fā)展方向。
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